Low-dielectric constant materials - synthesis and applications in microelectronics : symposium held April 17-19, 1995, San Francisco, California, U.S.A

Författare
(Editors: T.-M. Lu ..)
Genre
Konferenspublikation
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Materials Research Society cop. 1995 USA, Pittsburgh, Pa xi, 288 sidor. ill.